Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0207U002889, 0104U009470 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження та розробка методів неорганічної фотолітографії для отримання рельєфних мікроструктур на металевих та діелектричних підкладках оптичних носіїв інформації. Назва етапу роботи Керівник роботи Рубіш В.М., Дата реєстрації 21-02-2007 Організація виконавець Ужгородський науково-технологічний центр матеріалів оптичних носіїв інформації Інституту проблем реєстрації інформації НАН України Опис етапу Проведені розрахунки критичних швидкостей охолодження розплавів, визначено оптимальні режими синтезу стекол та одержання плівок на їх основі. Подано результати досліджень структури ближнього порядку, фізико-хімічних, оптичних і механічних параметрів стекол та плівок у халькогенідних системах на основі мишьяку та сурьми та їх змін у залежності від хімічного складу, умов отримання та під дією високого гідростатичного тиску опромінення і відпалу. Визначені склади неорганічних фоторезистів та висикоселективних травників, що забезпечують отримання рельєфних мікроструктур з мікронними і субмікронними розмірами. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити