Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0207U004529, 0104U008906 , Науково-дослідна робота Назва роботи Багатошарові молекулярно-променеві епітаксійні структури CdxHg1-xTe з нанорозмірними шарами та оптоелектронні прилади на їх основі Назва етапу роботи Керівник роботи Сизов Федор Федорович, Дата реєстрації 12-04-2007 Організація виконавець Львівська філія ЗАТ "Науково-виробничий концерн "Наука" Опис етапу Іонне травлення проводилось на спеціальній установці у високочастотному (частота 13, 76 МГц) тліючому розряді, який локалізувався у квазізамкненому об'ємі. Глибину залягання p-n переходу оцінювали за товщиною стравленого шару, для якої відновлювався вигляд польової залежності коефіцієнту Холла для вихідного зразка. Інший метод визначення глибини залягання p-n переходу полягав у побудові залежності викликаного іонним травленням приросту поверхневої концентрації електронів ?NS (розрахованої на одиницю площі зразка) при Т = 77 К від товщини стравленого шару, яка визначалась на основі аналізу польових залежностей коефіцієнта Холла RH(B) методом спектрів рухливості. Було досліджено плівки КРТ, вирощені методами рідинно-фазової епітаксії (РФЕ) та молекулярно-променевої епітаксії (МПЕ). Проведено дослідження конверсії типу провідності при іонному травленні у РФЕ плівках і було встановлено, що глибина конверсії та електричні параметри конвертованих шарів практично не залежали від енергії іонів аргону у діапазоні 1-4 кеВ, що узгоджується з даними інших авторів. У процесі пошарового хімічного травлення були виміряні температурні залежності інтегральних значень коефіцієнта Холла та рухливості після видалення поверхневого шару 2 та 8 мкм. Відпрацьовано базові технологічні операції (іонна імплантація, фотолітографія, металізація і т.і.) та розроблено інструкції базових технологічних операцій по виготовленню багатоелементних приймачів на основі епітаксійних шарів HgCdTe (КРТ) вирощених методами молекулярно-променевої (МПЕ) та рідинно-фазової епітаксії (РФЕ). Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити