Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0207U005086, 0104U003157 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження динаміки іонно-променевих та ВЧ розрядних плазмових систем у комбінованих електричному та магнітному полях. Назва етапу роботи Керівник роботи Толок Володимир Тарасович, Дата реєстрації 01-03-2007 Організація виконавець Науковий фізико-технологічний центр Міністерства освіти і науки та НАН України Опис етапу Створено теоретичну модель імпедансу плазмового конденсатора та замагніченої іонно-променевої плазми. Проведено комплекс експериментальних досліджень модулю плазмохімічного травлення для формування наноструктур. Доведено адекватність теоретичної моделі експериментальним даним. Визначено принципи побудови технологічних систем на базі комбінованого ВЧ індукційно-ємнісного розряду та розряду в схрещених електричному й магнітному полях. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Дослідження динаміки іонно-променевих та ВЧ розрядних плазмових систем у комбінованих електричному та магнітному полях.
Керівник: Толок Володимир Тарасович. Дослідження динаміки іонно-променевих та ВЧ розрядних плазмових систем у комбінованих електричному та магнітному полях.. (Етап: ). Науковий фізико-технологічний центр Міністерства освіти і науки та НАН України. № 0207U005086
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-16


Роздрукувати цю сторінку