Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0207U005103, 0106U000095 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення технології отримання монолітних МЕМС- структур на основі п'єзоелектричних плівок нітриду алюмінію для радіоелектронних пристроїв та систем зв'язку. Назва етапу роботи Керівник роботи Якименко Юрій Іванович, Дата реєстрації 02-03-2007 Організація виконавець Науково-дослідний інститут прикладної електроніки Національного технічного університету України "КПІ" Опис етапу Розробка направлена на дослідження об'ємних мікромеханічних резонаторів на основі напівпровідникових і діелектричних матеріалів. Отримана математична модель збудження резонансних коливань за рахунок створення спеціальної механічної системи та електричних полів. Досліджено вимоги до п'єзоелектричних керамічних підкладок, плівок і електродів у структурах. Розглянуті технології одержання аморфних і нанорозмірних структурних плівок кремнія і сплавів на основі кремнія. Проведено аналіз технологічних методів поліпшення електронних і фізичних властивостей плівок кристалічних сполук кремнія. Розроблені принципи створення елементів фільтрів на основі тонких шарів п'єзоелектричних матеріалів. Запропоновані варіанти технічних рішень елементів фільтрів. Результати рекомендовано використовувати при розробці пристроїв фільтрації сигналів з керованими характеристиками резонансних елементiв. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити