Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0207U005655, 0104U009572 , Науково-дослідна робота Назва роботи Електронно-емісійні властивості алмазоподібних та інших діелектричних плівок, їх застосування для цілей вакуумної електроніки Назва етапу роботи Керівник роботи Литовченко Володимир Григорович, Дата реєстрації 05-06-2007 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Звіт подається в одному томі і складає 84 сторінки, у тому числі рисунків 26, таблиць 4, використаних джерел 123, додатків 2. Ключові слова: електронна польова емісія, кремнієві емітери, нанокомпозитні плівки, електрофізичні характеристики, вакуумна мікро- та наноелектроніка. Мета проекту (етапу): Дослідження емісійних властивостей діелектричних нанокомпозитних плівок (SiOx, SiO2, SiO2(Si)) для застосування в приладах вакуумної нано- та мікроелектроніки. Розробка технології формування емісійних катодів на основі кремнієвих вістрів покритих діелектричними нанокомпозитними плівками. Створення моделі тунельного переносу при електронній польовій емісії. В результаті виконання проекту проведено дослідження особливостей електронної польової емісії з діелектричних нанокомпозитних плівок (SiOx, SiO2, SiO2(Si)). Розроблений експериментальний зразок польового емітера має значно кращі експлуатаційні параметри в порівнянні з існуючими. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити