Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0208U000330, 0107U010439 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження плівок MoRe методом рентгенівської фотоелектронної спектроскопії Назва етапу роботи Керівник роботи Михайлов Михайло Юрійович, Дата реєстрації 24-01-2008 Організація виконавець Фізико-технічний інститут низьких температур ім. Б.I.Вєркіна Опис етапу Проведено дослідження надтонких (товщиною 4-10 нанометрів) плівок MoRe методом рентгенівської фотоелектронної спектроскопії із застосуванням послойного іонного травлення. Отримано інформацію щодо хімічного складу плівок, розподілу елементів і домішок по товщині плівок і процесів дифузії на межі плівка-підкладка і плівка-атмосфера. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити