Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0208U000763, 0107U005784 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка методів і апаратури діагностики матеріалів електронної техніки, шаруватих структур та мікроелектронних приладів на основі Оже-електронної спектроскопії Назва етапу роботи Керівник роботи Романюк Борис Миколайович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 15-02-2008 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Метою досліджень була розробка методів і апаратури діагностики матеріалів електронної техніки, шаруватих структур на їх основі та мікроелектронних приладів з використанням Оже-електронної спектроскопії; дослідження ефективності роботи іонних джерел, вибір та виготовлення іонного джерела для імплантера МВ-202 та Оже-спектрометра; виготовлення і дослідження тестових зразків для Оже-спектрометра шляхом нанесення тонких шарів з різним елементним складом плазмохімічним та термічними методами та розробка технології високотемпературної дифузії домішок. Для досягнення мети використовувались Оже-електронна спектроскопія, різні модифікації мас-спектрометрії, профілометрія та інші методи дослідження товщинного розподілу домішок. Проведено огляд сучасних уявлень про конструкції і режими роботи іонних джерел. Розглянуто вимоги до іонних джерел, які застосовуються в процесі імплантації домішок для виготовлення тестових зразків. Проведено дослідження ефективності роботи різного типу іонних джерел для іонних імплантерів. Виконано вибір оптимального іонного джерела для Оже-спектрометра та імплантера МВ-202. Виготовлено іонне джерело та проведено його випробування.. Обгрунтовано використання методів йонної імплантації, плазмохімічних методів, методів термічної дифузії для виготовлення еталонних зразків. Виготовлено набір тестових зразків для Оже-спектрометра вказаними методами. Проведено аналіз можливостей використання методів Оже-електронної спектроскопії для визначення концентрації домішок в матеріалах електронної техніки. Показано, що для проведення кількісного аналізу необхідно мати контрольний зразок (без додаткових домішок) та еталонні зразки з домішками, клнцентрація яких визначена незалежними методами. Розроблено метод іонного травлення діелектричних та напівпровідникових шарів і прецизійного контролю їх товщини при мас-спектрометричних та Оже-спектроскопічних дослідженнях домішкового складу. Проведено калібровочні вимірювання зразків, що містять актуальні домішки для електронної техніки. Зроблено співставлення результатів, отриманих різними методами для стандартних зразків. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити