Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0208U002199, 0107U005747 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка сенсору кисню на основі плівкових електрохімічних газових перетворювачів Назва етапу роботи Керівник роботи Лісовський Ігор Петрович, Дата реєстрації 18-01-2008 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Метою досліджень було використання добре апробованих мікроелектронних технологій для отримання елементів планарного сенсору кисню та вивчення структурних і електрофізичних властивостей плівок активної кераміки (ZrО2) та поруватих металевих електродів, а також встановлення механізмів переносу струму при підвищених температурах крізь плівку активної кераміки. Об'єктом досліджень були плівки твердого електроліту (ZrО2, легований оксидом ітрію) та поруваті шари Ni і Cu в якості функціональних елементів сенсорної електроніки. Для досягнення мети використовувались гравіметрія, ІЧ-спектроскопія, електронна мікроскопія та мікроскопія атомних сил, методи вимірів провідності та вольт-фарадних характеристик. Визначені технологічні умови отримання високоякісних як суцільних . так і поруватих плівок напівпровідників, діелектриків, металів, використовуючи метод іонно-плазмового розпилення матеріалів при нормальному або похилому куті розпалюваних частинок на підкладинку. Розроблена та опрацьована технологія створенняелементів макету планарного сенсору кисню (лямбда-зонду). Проведені дослідження супроводжують детальний патентний пошук з питань, що розглядаються у НДР. Результати НДР можуть бути використані в електронній промисловості для створення планарних сенсорів кисню. ГЕТЕРОСТРУКТУРИ, НАПІВПРОВІДНИКОВІ СЕНСОРИ, СЕНСОРИ КИСНЮ, ЛЯМБДА-ЗОНД. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити