Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0208U002200, , Науково-дослідна робота

Назва роботи

Розробка методів та устаткування оптичної діагностики нанорозмірного Si

Керівник роботи

Литовченко Володимир Григорович; Лісовський Ігор Петрович,

Дата реєстрації

18-01-2008

Організація виконавець

Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України

Опис

Метою досліджень були розробка та створення надійних, опрацьованих і досить недорогих методів вимірювання найважливіших характеристик кремнієвих нанокристалів, таких як: розмір, концентрація, однорідність розподілу у діелектричній матриці. Об'єктом досліджень були композитні матеріали - ncSi/SiOx та ncSi/SiO2. Для досягнення мети використовувались методи спектральної фотолюмінесценції, ІЧ-спектроскопії, атомно-силової мікроскопії та електронної мікроскопії з високою роздільною здатністю. Визначені технологічні умови отримання високоякісних структур нанокристалічного кремнію. Теоретично розглянуто зв'язок між оптичними властивостями нанорозмірних кристалів кремнію та їх розмірами. Розроблена методика визначення розмірів кремнієвих нановключень та їх розкиду на базі аналізу спектрів фотолюмінісценції. Розроблена методика визначення структурних характеристик оксидної матриці з вбудованими nc-Si частинками на базі ІЧ-спектроскопії з аналізом форми смуги поглинання. Встановлена кореляція даних електронної мікроскопії з результатами запропонованого методу на базі вимірів спектрів фотолюмінісценції. Проведена атестація нанокристалічного кремнієвого матеріалу різного типу. Проведені дослідження супроводжує детальний патентний пошук з питань, що розглядаються у НДР. Результати НДР можуть бути використані в електронній промисловості при створенні світло випромінювачів та елементів пам'яті на базі нанорозмірного кремнію. НАНОРОЗМІРНИЙ КРЕМНІЙ, ФОТОЛЮМІНІСЦЕНЦІЯ, ІЧ-СПЕКТРОСКОПІЯ

Опис продукції