Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0208U002944, 0107U002710 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка методик і проведення вимірювань часової залежності температури поверхні, що розвивається в процесі осадження плівок металів та тугоплавких сполук Назва етапу роботи Керівник роботи Шагінян Леонід Робертович, Дата реєстрації 29-02-2008 Організація виконавець Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М.Францевича НАН України Опис етапу Робота присвячена розробці методик і проведенню вимірювань температури поверхні росту Cu, Ti, Cr, TiN плівок в процесі їх осадження магнетронним розпиленням. Створений новий калориметричний метод in situ вимірювання температури поверхні. Показано, що вона помітно перевищує температуру підкладки і лінійно зростає зі зростанням потоку енергії на поверхню. Запропоновано новий механізм формування плівки, який припускає, що на поверхні конденсації в процесі росту плівки утворюється рідкоподібна фаза з гігантським тепловим опором. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити