Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0208U005024, 0107U005752 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка та створення сенсорів великих тисків на основі Si Назва етапу роботи Керівник роботи Корбутяк Дмитро Васильович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 18-03-2008 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Розроблено принципи функціонування сенсорів великих тисків в широкому діапазоні деформацій і температур. Розроблено технологічно-конструкційні варіанти створення сенсорів на основі кристалів кремнію та гетероструктури Ge-GaAs. Виготовлено тензочутливі структури та лабораторні зразки, встановлено тензометричні характеристики. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити