Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0208U005792, 0107U008219 , Науково-дослідна робота Назва роботи ДКР "Розробка високоефективної прецизійної технології очищення поверхні тонких шарів напівпровідникових, діелектричних та металевих матеріалів". Назва етапу роботи Керівник роботи Вірченко П.Т.,, Дата реєстрації 29-09-2008 Організація виконавець Міжгалузевий центр впровадження нових технологій "Ерідан" Опис етапу На основі експериментальних досліджень розроблено 6 базових технологічних маршрутів очищення поверхні напівпровідників (кремній),діелектриків(оксид кремнію) та металів(алюміній, легований полікремній).На ці базові маршрути складені технологічні карти. Найбільш привабливим з них є двостадійний маршрут,який грунтується на використанні розчину ПАР-десорбенту та перекисно-аміачного розчину. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити