Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0209U001022, 0106U001623 , Науково-дослідна робота Назва роботи Синтез та дослідження фізико-механічних властивостей наноструктурних боридонітридних плівок перехідних металів Назва етапу роботи Керівник роботи Гончаров Олександр Андрійович, Дата реєстрації 05-01-2009 Організація виконавець Донбаська державна машинобудівна академія Опис етапу Проведені системні експериментальні й теоретичні дослідження з встановлення змін складу, структури й фізико-механічних властивостей плівок у системах V-B, V-B-N та Ta-B, Ta-B-N. Встановлено вплив геометрії розпилювальної системи та умов розпилення на властивості плівок, що одержано. Показано, що за умов осадження плівок високотемпературних сполук, головним чинником, що впливає на склад та структуру плівок є умови переносу розпилених атомів мішені до поверхні конденсації. Представлено механізм розпилення мішеней в реактивному середовищі Ar+N2, який пояснює зміну кінетики росту й розбіжності при розпиленні мішеней диборидів ванадію і танталу. Запропоновано спосіб одержання багатошарових боридних і нітридних структур перехідних металів із заданими фізико-механічними властивостями в одному технологічному циклі, використовуючи одну мішень, варіюючи режими розпилення й співвідношення товщини в шарах. Наведено практичні рекомендації по одержанню нанокристалічних плівок сполук, що було досліджено Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити