Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0209U002296, 0106U001574 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження процесів формування потоків активованих частинок у кластерних плазмових системах для синтезу та обробки наноструктур Назва етапу роботи Керівник роботи Фареник Володимир Іванович, Дата реєстрації 04-02-2009 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу Об'єкт дослідження: нова плазмова кластерна система для реактивного синтезу складнокомпозіційних сполук типу оксидів та оксинітридів на базі магнетронного та ВЧ індукційного розрядів. Мета роботи: розробка та дослідження нової плазмової кластерної системи для реактивного синтезу складнокомпозіційних сполук та фізичних основ технології формування складних композиційних мікро- та наноструктур типу оксидів та оксинітридів. Метод дослідження: зондові вимірювання параметрів плазми, вивчення властивостей синтезованих структур та встановлення їх взаємозв'язку. В звіті представлено результати розробки та дослідження нової плазмової кластерної системи на базі магнетронного та ВЧ індукційного розрядів для реактивного синтезу складнокомпозіційних сполук та фізичних основ технології формування складних композиційних мікро- та наноструктур типу оксидів та оксинітридів. Основна ідея технології полягає в сепарації двох процесів: розпилення металевої мішені за допомогою магнетрона постійного струму в інертному газі та активації реактивного газу за допомогою додаткового плазмового джерела на базі ВЧ індукційного розряду. Протягом виконання роботи було модернізовано установку УРМЗ для реактивного магнетронного нанесення нанокомпозіційних діелектричних покриттів, проведено комплексні дослідження процесу реактивного синтезу діелектричних сполук типу Al2O3 та вивчення властивостей синтезованих структур. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити