Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0209U002528, 0106U002248 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка алюмінієвих сплавів та мішеней для тепло- і корозійностійкої металізації субмікронних структур ВІС Назва етапу роботи Керівник роботи Новосядлий Степан Петрович, Дата реєстрації 17-02-2009 Організація виконавець Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника Опис етапу В процесі роботи проводились теоретичні та експериментальні дослідження корозійних явищ в тонких плівках алюмінієвих сплавів та металевої розводки верхнього рівня структур ІС. Для цього використовувались сучасні методи дослідження твердих тіл (напівпровідників, металів і діелектриків): потенціометрія, рентгено-електронна спектроскопія, обернене резерфордівське розсіювання, рентгенівська дифракторметрія, електронографія, растрова електронна мікроскопія, метод імпульсних вольт-фарадних характеристик, оже-спектрометрія, еліпсометрія, лазерна та оптична інтерферометрія, тестовий контроль електрофізичних параметрів. Високоякісні плівки сплавів алюмінію формувались магнетронними системами розпилення мішеней різних конфігурацій. Зменшення контактних опорів досягалось шляхом використання багатозарядної ретроградної імплантації домішок та плазмохімічного профілювання контактних вікон. Відповідно розроблена технологія виготовлення мішеней для магнетронного розпилення та сам процес формування корозійностійкої металізації верхнього рівня розводки іонно-плазмовим магнетронним розпиленням алюмінієвих сплавів. Особливу увагу заслуговують багатокомпозиційні магнетронні системи для формування багаторівневої розводки структур ВІС з мінімізацією теплового і контактного опорів. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити