Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0209U002670, 0107U006676 , Науково-дослідна робота Назва роботи Мікрохвильова діагностика та модифікація матеріалів в нанотехнологіях Назва етапу роботи Керівник роботи Гордієнко Юрій Омелянович, Дата реєстрації 11-03-2009 Організація виконавець Харківський національний університет радіоелектроніки Опис етапу В результаті виконання проекту розроблено загальну електродинамічну теорію НВЧ резонаторних мікрозондів для досліджування електрофізичних властивостей матеріалів і структур. Проведено оптимізація таких мікрозондів за критеріями максимальної чутливості та просторової роздільної здатності. Створено і досліджено експериментальні зразки нових резонаторних НВЧ мікрозондів міліметрового діапазону хвиль з покращеними метрологічними характеристиками. Створенно експериментальний зразок мікрохвильового мікроскопа для багатопараметрової мікродіагностики фізичних властивостей та локальної модифікації матеріалів. Розроблено нові підходи підвищення роздільної здатності й багатопараметричності мікрохвильової мікроскопії напівпровідникових структур. Досліджено можливості НВЧ мікромодифікації напівпровідників з використанням резонаторних мікрозондів. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити