Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0209U002737, 0108U001310 , Науково-дослідна робота Назва роботи Вивчення залежності ефекту аномально високої температури поверхні конденсації, що виникає в процесі осадження плівок, від метода осадження, на прикладі магнетронного розпилення і вакуумно-дугового випарювання Назва етапу роботи Керівник роботи Шагінян Леонід Робертович, Дата реєстрації 13-03-2009 Організація виконавець Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М.Францевича НАН України Опис етапу Проведені вимірювання температур підкладки і поверхні росту плівок Cu, Ti, Zr, W, Мо в процесі їх осадження магнетронним розпиленням і вакуумно-дуговим випарюванням. Дані одержані для магнетронного розпилення підтвердили ранішні вимірювання. Оказалося, що для вакуумно-дугового випарювання такі вимірювання неможливі із-за присутності на поверхні підкладки мікро-капель. Шорсткість поверхні, що обумовлена присутністю мікро-капель, змінює випромінювану здатність зразка і шкодить розрахунок температури поверхні. Явище аномально високої температури поверхні конденсації було пояснено формуванням на неї рідиноподібного шару з особливою фізичною природою, що формується на поверхні плівки в процесі росту. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Вивчення залежності ефекту аномально високої температури поверхні конденсації, що виникає в процесі осадження плівок, від метода осадження, на прикладі магнетронного розпилення і вакуумно-дугового випарювання
Керівник: Шагінян Леонід Робертович. Вивчення залежності ефекту аномально високої температури поверхні конденсації, що виникає в процесі осадження плівок, від метода осадження, на прикладі магнетронного розпилення і вакуумно-дугового випарювання. (Етап: ). Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М.Францевича НАН України. № 0209U002737
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-19


Роздрукувати цю сторінку