Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0209U005506, 0106U004500 , Науково-дослідна робота Назва роботи Діагностика функціональних шарів у виробах мікрооптики і наноелектроніки, отриманих електронними технологіями Назва етапу роботи Керівник роботи Ващенко В'ячеслав Андрійович, Доктор технічних наук Дата реєстрації 18-02-2009 Організація виконавець Черкаський державний технологічний університет Опис етапу Об'єктом дослідження є процеси діагностики функціональних шарів методом атомно-силової мікроскопії. Метою проекту є розробка комплексу обладнання і методик, на базі атомно-силової мікроскопії, для діагностики поверхонь і функціональних шарів в оптичних матеріалах, які отримані електронним методом. У першому розділі цього звіту викладені результати огляду патентної та технічної літератури, яка присвячена вивченю та дослідженню параметрів поверхонь оптичних матеріалів, в результаті якого встановлено, що метод атомно-силової мікроскопії дозволяє встановити реальну картину мікрорельєфу поверхні досліджуваного об'єкту з роздільчою здатністю порядку 0,2 нм; проводити нанометричні дослідження трибологічних, механічних та експлуатаційних властивостей різноманітних органічних та неорганічних матеріалів в широкому діапазоні значень. Другий розділ присвячений розробці фізико-математичних моделей утворення функціональних шарів в оптичних матеріалах від дії стрічкового електронного потоку (теплових умов створення функціональних шарів, термонапружень в функціональних шарах та на границі "функціональний шар - основний матеріал"). В третьому розділі наводяться основні положення електронної технології отримання функціональних покриттів та функціональних шарів на оптичних матеріалах. В четвертому розділі наводяться розроблені експериментальні методики діагностування функціональних шарів на оптичних матеріалах та нанометричних структур мікрооптики, нано-, оптоелектроніки та медицини, а саме: методика вивчення мікропрофілю функціональних шарів та нанометричних елементів створених на оптичних матеріалах методом атомно-силової мікроскопії; методика діагностики основних техніко-експлуатаційних характеристик нанометричних елементів із застосуванням скануючої атомно-силової мікроскопії; методика визначення біологічних об'єктів із застосуванням скануючої атомно-силової мікроскопії. В п'ятому розділі наводяться результати вдосконалення обладнання атомно-силової мікроскопії та створення комплексу для діагностування виробів мікрооптики та наноелектроніки, а також результати впровадження та апробація розробленного діагностичного комплексу в умовах оптичного виробництва. Усі дослідження проводилися за розробленими методиками, а розрахунки - на сучасному обчислювальному обладнанні з використанням методу атомно-силової мікроскопії (прилад NT-206V) та математичних статистичних методів. Результати роботи були впроваджені на ряді вітчизняних та закордонних підприємств та організацій ("НДІВЦ Пріоритетних технологій обчислювальної техніки", НТК "Фотоприлад", Інститут тепло- і масообміну ім.А.В.Ликова НАН Білорусі, ТДВ "Микротестмашины" (м.Гомель, Білорусь), що займаються проектуванням та розробкою виробів мікрооптики, інтегральної оптики, точного приладобудування, інтегрально-оптичних пристосувань спеціального призначення, а також в лабораторно-дослідницьких комплексах, що спеціалізуються в біологічних та медичних дослідженнях. Областю застосування результатів досліджень є мікрооптика, медицина та біологія, точне приладобудування. Ключові слова: МІКРООПТИКА, ІНТЕГРАЛЬНА ОПТИКА, НАНОЕЛЕКТРОНІКА, ФУНКЦІОНАЛЬНИЙ ШАР, СТРІЧКОВИЙ ЕЛЕКТРОННИЙ ПОТІК, ЕЛЕКТРОННА ТЕХНОЛОГІЯ, МІКРОГЕОМЕТРІЯ ПОВЕРХНІ, АТОМНО-СИЛОВА МІКРОСКОПІЯ Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити