Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0209U005652, 0107U004904 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка двупучкової системи іонної мікрообробки Назва етапу роботи Керівник роботи Черепін Валентин Тихонович, Дата реєстрації 06-03-2009 Організація виконавець Фізико-технічний навчально-науковий центр НАН України Опис етапу Розроблена парна система іонних джерел плазмового і рідко-металевого в сполученні з растровим електронним мікроскопом для організації системи нанообробки та приготування зразків для просвічуючої електронної мікроскопії. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Розробка двупучкової системи іонної мікрообробки
Керівник: Черепін Валентин Тихонович. Розробка двупучкової системи іонної мікрообробки. (Етап: ). Фізико-технічний навчально-науковий центр НАН України. № 0209U005652
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-14


Роздрукувати цю сторінку