Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0209U008107, 0106U000362 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження впливу атомарного водню на тонкі металеві плівки та гетероструктури з металевими плівками Назва етапу роботи Керівник роботи Матюшин Володимир Михайлович, Дата реєстрації 28-01-2009 Організація виконавець Запорізький національний технічний університет Опис етапу Предмет, об'єкт дослідження, розробки: закономірності модифікації електрофізичних параметрів тонких металевих плівок та гетероструктур на їх основі під впливом дії атомарного водню, тонкі металеві плівки та гетероструктури на їх основі. Суть процесу дослідження: дослідження фізичних процесів і механізмів взаємодії атомарного водню з тонкими металевими плівками із різними властивостями та гетероструктурами на їх основі шляхом вимірювання їх основних електрофізичних параметрів. Показано, що під дією атомарного водню відбувається зміна електропровідності дослідних тонких металевих плівок (Ni, Ag, Cu, Al). Виявлено, що в залежності від умов обробки (концентрація водню, структура, матеріал та товщина плівок) електпропровідність може як зменшуватися так і збільшуватися. Виявлені та досліджені процеси, які відповідають за зміну електропровідності: розпилення, розчинення водню в об'ємі плівки, нагрів, процеси модифікації структури. Експериментально виявлено залежність процесів, що протікають, від температуризразків та технології виготовлення плівок. Обрано режими обробки зразків для цілеспрямованих змін та оптимізації їх параметрів. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити