Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0209U008492, 0106U004069 , Науково-дослідна робота Назва роботи Математична модель та мікроелектронна технологія комбінованих МЕМС - структур на основі п'єзоелектричних мембран. Назва етапу роботи Керівник роботи Жуйков Валерій Якович, Дата реєстрації 25-05-2009 Організація виконавець Науково-дослідний інститут прикладної електроніки Національного технічного університету України "КПІ" Опис етапу Розробка направлена на дослідження комбінованих мікроелектромеханічних систем (МЕМС-структур) та технології мембранних резонаторів. Отримана модель мікроелектромеханічної мембрани. Виконані дослідження фізичних процесів низькотемпературного синтезу наноструктурних плівок сполук кремнія та нітридів. Розглянуті радіальні коливання п'єзоелектричного елемента із частково покритими електродами поверхнями. Побудована математична модель радіальних коливань в поляризованому по товщині елементі. Виконані дослідження наноструктурних плівок на мікроелектронному обладнанні. Досліджено процеси низькотемпературного синтезу наноструктурних плівок методом магнетронного ВЧ-розпилення. Одержані тонкі плівки сполук кремнія з високими технічними характеристиками. Метод дозволяє налагодити промислове виробництво мікроелектронних пристроїв МЕМС. Проведено аналіз технологічних методів поліпшення електронних і фізичних властивостей плівок нанокристалічних сполук кремнія. Результати рекомендовано використовувати при розробці електронних пристроїв мікроелектромеханічних систем. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити