Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0209U008661, 0108U000499 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження технології нанесення сполук на великі поверхні газорозрядним випарником при пролітно-дифузійному переносі пари Назва етапу роботи Керівник роботи Денбновецький Станіслав Володимирович, Дата реєстрації 25-11-2009 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут", факультет електроніки Опис етапу Обґрунтована перспективність використання газорозрядного електронно-променевого випарника при нанесенні хімічних сполук на великі поверхні. Створено випарник високовольтного тліючого розряду з довгофокусним скануючим електронним пучком, встановлені оптимальні технологічні умови осадження при роботі випарника в режимі пролітно-дифузійного переносу пари. Отримані зразки покриттів ряду хімічних сполук та проведені їх дослідження. Опис продукції Науково обґрунтована та практично показана можливість ефективного застосування випарника високовольтного тліючого розряду в технологіях осадження хімічних сполук на великі поверхні. Технологічний процес нанесення покриттів проводиться при порівняно невисокому вакуумі в режимі пролітно-дифузійного переносу пари. Досліджені фізичні процеси в зоні випаровування та осадження покриттів та встановлені оптимальні технологічні режими. Автори роботи Крижановський Валерій Іванович Кузьмичев Анатолій Іванович Мельник Ігор Віталійович Мельник Віталій Гнатович Тугай Борис Андрійович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити