Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0210U000247, 0107U002936 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка технології надтвердих наноструктурованих покриттів на основі мульти-магнетронного незбалансованого розпилення Назва етапу роботи Керівник роботи Іващенко Володимир Іванович, Дата реєстрації 29-01-2010 Організація виконавець Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М.Францевича НАН України Опис етапу В роботі розроблена і виготовлена установка для мультимагнетронного осадження наношарових і нанокомпозитних покриттів. Модифікація обладнання дозволяє проводити розпилення, активоване ECR плазмою. Вперше осаджені шляхом реактивного розпилення комплексної мішені із титану, кремнію і графіту нанокомпозитні покриття. Зокрема отримані і вивчені властивості наноструктурованих покриттів на основі TiNC/SiCN . Результати показали екстремальну залежність нанотвердості (до 29 ГПа) і пружного модуля (до 320 ГПа) від вмісту кремнію на мішені. Рентгеноструктурні дослідження свідчать про утворення nc-TiNC/a-SiCN нанокомпозиту. При розпиленні мішені B4C утворюються аморфні і нанокристалічні покриття при температурах підкладки менше і більше 900 0С, Установка була використана для отримання наношарових Ti/SiC та TiN/SiCN покриттів. Період складав відповідно 17 нм і 5 нм.. Кількість шарів - від 22. шарів. З метою вдосконалення нанотехнології, встановлення механізмів зміцнення наноструктурованих покриттів, та для прогнозування властивостей плівок була проведена побудова можливих моделей еволюції покриттів під дією деформації. На основі розрахунків першопринципними методами та емпіричним потенціалом Терсофа проаналізовані структурні і механічні властивості наноструктурованих покриттів.. Вперше проведене моделювання впливу одновісних деформацій на різні наношарові структури кремнію в рамках молекулярної динаміки на основі емпіричного потенціалу, показално, що зміцнення покриттів при утворенні наношарової структури не пов'язане з аномаліями в щільності покриттів на границях розділу, а обумовлене механізмами, пов'язаними з переміщенням дислокацій. Вперше встановлено можливість виникнення нових структур при одновісному стискуванні в наношарових системах на прикладі двійникової наношарової кремнієвої структури в напрямку (111), де під одновісним тиском в 25 ГПа виявлена нова метастабільна п'ятикратно координована орторомбічна структура кремнію, котра при декомпресії переходить в стабільну тетрагональну об'ємноцентровану структуру. Опис продукції В роботі розроблена і виготовлена установка для мультимагнетронного осадження наношарових і нанокомпозитних покриттів. Модифікація обладнання дозволяє проводити розпилення, активоване ECR плазмою. Вперше осаджені шляхом реактивного розпилення комплексної мішені із титану, кремнію і графіту нанокомпозитні покриття. Зокрема отримані і вивчені властивості наноструктурованих покриттів на основі TiNC/SiCN . Автори роботи І.І. Тімофєєва А.В. Осадча В.М. Гранько В.Ю. Куліковський Л.А. Іващенко Л.А. Грішнова О.К. Порада О.О. Бутенко О.О. Онопрієнко О.О. Ситіков П.Л. Скринський С.М. Дуб Ф.Г. Бутенко Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити