Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0210U001228, 0107U000441 , Науково-дослідна робота Назва роботи Моделювання процесів масоперенесення при напилюванні тонких плівок енергетичними частинками Назва етапу роботи Керівник роботи Корніч Григорій Володимирович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 28-01-2010 Організація виконавець Запорізький національний технічний університет Опис етапу Метою роботи є побудова аналітичної дифузійноподібної моделі напилювання тонкої плівки на підкладинку з урахуванням поверхневого і об'ємного окислення, молекулярно-динамічної моделі для процесів взаємодії моноатомних частинок та низькоенергетичних кластерів різних типів, розмірів та енергій поступального руху з поверхнею твердого тіла, дослідження напилювання тонких плівок моноатомними частинками та низькоенергетичними кластерами за допомогою побудованих моделей. Опис продукції Розроблена аналітична модель масоперенесення речовини при напилюванні тонкої плівки низькоенергетичними частинками дозволяє дослідити еволюцію і оцінити характеристики об'ємних концентраційних профілів плівки в різні моменти часу при різних зовнішніх параметрах напилювання. Розроблена молекулярна-динамічна модель процесів осадження моноатомних частинок і кластерів на поверхню підкладинки дозволяє отримати коефіцієнти розпилення, прилипання, дифузії, а також дослідити процеси масоперенесення на атомарному рівні. Автори роботи Єрмоленко Олександр Анатолійович Кіпріч Вадим Ігорович Корніч Валерія Григорівна Корніч Григорій Володимирович Пугіна Катерина Віталіївна Шаршава Ніна Віталіївна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити