Реєстраційний номер
0210U001503,
0108U007956
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розроблення та виготовлення експериментального зразка приладу для вимірювання ступеня однорідності плівкових структур в технології мікроелектроніки
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Макара Володимир Арсенійович,
Дата реєстрації
22-02-2010
Організація виконавець
Навчально-науковий центр "Фізико-хімічне матеріалознавство" КНУ імені Тараса Шевченка та Національної АН України
Опис етапу
Розроблений експериментальний зразок приладу та метод вимірювання товщини та показника заломлення і однорідності захисних та активних тонких плівкових структур.
Опис продукції
Результати випробування експериментального зразка приладу та методів визначення оптичних сталих і товщини плівок свідчать про їх застосовність для дослідження і контролю технологічних процесів виготовлення плівкових структур в технології мікроелектроніки
Автори роботи
Кепич Тіберій Юрійович
Одарич Володимир Андрійович
Преображенська Тамара Дмитрівна
Руденко Ольга Василівна
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
