Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0210U001503, 0108U007956 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення та виготовлення експериментального зразка приладу для вимірювання ступеня однорідності плівкових структур в технології мікроелектроніки Назва етапу роботи Керівник роботи Макара Володимир Арсенійович, Дата реєстрації 22-02-2010 Організація виконавець Навчально-науковий центр "Фізико-хімічне матеріалознавство" КНУ імені Тараса Шевченка та Національної АН України Опис етапу Розроблений експериментальний зразок приладу та метод вимірювання товщини та показника заломлення і однорідності захисних та активних тонких плівкових структур. Опис продукції Результати випробування експериментального зразка приладу та методів визначення оптичних сталих і товщини плівок свідчать про їх застосовність для дослідження і контролю технологічних процесів виготовлення плівкових структур в технології мікроелектроніки Автори роботи Кепич Тіберій Юрійович Одарич Володимир Андрійович Преображенська Тамара Дмитрівна Руденко Ольга Василівна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити