Search academic texts

Information × Registration Number 0210U001618, 0108U002216 , R & D reports Title Design-technological basis of perspective microelectromechanical components creation and technologies of their manufacturing popup.stage_title Head Nevlyudov Igor Shackirovich, Доктор технічних наук Registration Date 02-03-2010 Organization Kharkiv National University of Radioelectronics popup.description2 The researches of polyimide films with aluminum wires properties and technology creation of microcables and multicontacts connecting devices on base material ФДИ-А; properties of microstructuring optical fibers, mechanical silicon properties and others. Creation mathematical models of planar beams, capacitive, inductive, tensoresistive, electrostatic MEMS elements. Building up technological base for works. Product Description popup.authors Андрусевич Анатолій Олександрович Бережна Марина Анатоліївна Великодний Станіслав Сергійович Второв Євген Петрович Котух Володимир Григорович Мілютіна Світлана Святославівна Невлюдов Ігор Шакирович Новоселов Сергій Павлович Палагін Віктор Андрійович Пономарьова Ганна Вікторівна Резниченко Олексій Георгійович Сичова Оксана Володимирівна Сотник Світлана Вікторівна Стародубцев Микола Григорович Степаненко Віктор Іванович Филипенко Олександр Іванович Фризюк Євген Анатолійович Харенко Костянтин Юрійович Цимбал Олександр Михайлович Шарковський Володимир Юрійович popup.nrat_date 2020-04-02 Close