Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0210U003499, 0107U002712 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення технології отримання функціональної сенсорної МЕМС на основі наноструктурних п'єзоелектричних плівок нітриду алюмінія та сполук кремнія Назва етапу роботи Керівник роботи Якименко Юрій Іванович, Дата реєстрації 08-02-2010 Організація виконавець Науково-дослідний інститут прикладної електроніки Національного технічного університету України "КПІ" Опис етапу Робота присвячена дослідженню структури, фізичних характеристик та технології функціональних матеріалів на основі низькотемпературного синтезу плівок сполук кремнія та нітридів алюмінія. Розглянуті радіальні коливання плівкового елемента із частково електродованими поверхнями. Побудована математична модель реєстрації коливань в поляризованому по товщині елементі. Досліджено процеси синтезу плівок методом магнетронного ВЧ розпилення. Отримані тонких плівок кремнієвих сполук з високими технічними характеристиками, хорошою стабільністю і відсутністю деградації ефекта Стеблера-Вронскі. Одержані плівки нітридів характеризуються високою провідністю і оптичним поглинанням в області 400 нм. Гетеропереходи проявляють діодні характеристики при низьких значеннях напруги 0,01-0,2В в прямому включенні. Розроблено технологію керування структурними властивостями тонких плівок кремнію з нанокристалітними включеннями. Досліджені електрофізичні, оптичні, термоелектричні, фотоелектричні і радіаційні характеристики. Вивчена їх залежність від розмірів нанокристалітів і співвідношення аморфної і нанокристалічної фаз. Результати рекомендовано використовувати при розробці електронних пристроїв мікроелектромеханічних систем. Опис продукції Розроблено технологію керування структурними властивостями тонких плівок кремнію з нанокристалітними включеннями, досліджені залежності різних властивостей - електрофізичних, оптичних, термоелектричних, фотоелектричних і радіаційних - від розмірів нанокристалітів і співвідношення аморфної і нанокристалічної фаз. Досліджено процеси низькотемпературного синтезу наноструктурних плівок на основі кремнію із застосуванням методу магнетронного ВЧ-розпилення, який забезпечує одержання тонких плівок кремнієвих сполук з високими технічними характеристиками, хорошою стабільністю і відсутністю деградації за ефектом Стеблера-Вронскі. Одержані плівки нітридів характеризуються високою провідністю, оптичним поглинанням в області 400 нм, гетеропереходи проявляють діодні характеристики при низьких значеннях напруги 0,01-0,2В в прямому включенні.Метод дозволяє широкомасштабне промислове виробництво мікроелектронних пристроїв на основі нанокристалічних кремнієвих сполук. Проведено аналіз основних технологічних методів поліп Автори роботи Богдан Олександр Володимирович Богдан Тетяна Зіновіївна Душейко Михайло Григорович Зеленський Сергій Васильович Кавраська Наталя Михайлівна Красонтович Михайло Юрійович Лупина Борис Іванович Орлов Анатолій Тимофійович Петрищев Олег Миколайович Чугаєв Андрій Петрович Шмирєва Олександра Миколаївна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити