Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0210U005233, 0109U004406 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження легуючих властивостей твердих планарних джерел бору і фосфору, виготовлених на термостійких кремнієвих підкладках Назва етапу роботи Керівник роботи Островський Ігор Петрович, Дата реєстрації 19-08-2010 Організація виконавець Національний університет "Львівська політехніка" Опис етапу Розглянуто особливості виготовлення твердих планарних джерел (ТПД) фосфору та бору на термостійких підкладках. Досліджено основні параметри ТПД: термін експлуатації джерел і легуючи властивості. Завдяки використанню експериментальних зразків твердих планарних джерел фосфору та бору вдалося покращити технологічні параметри процесів легування пластин кремнію. Опис продукції Розглянуто особливості виготовлення твердих планарних джерел (ТПД) фосфору та бору на термостійких підкладках. Досліджено основні параметри ТПД: термін експлуатації джерел і легуючи властивості. Завдяки використанню експериментальних зразків твердих планарних джерел фосфору та бору вдалося покращити технологічні параметри процесів легування пластин кремнію. Автори роботи Богдановський Юрій Миколайович Мищишин Володимир Михайлович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Дослідження легуючих властивостей твердих планарних джерел бору і фосфору, виготовлених на термостійких кремнієвих підкладках
Керівник: Островський Ігор Петрович. Дослідження легуючих властивостей твердих планарних джерел бору і фосфору, виготовлених на термостійких кремнієвих підкладках. (Етап: ). Національний університет "Львівська політехніка". № 0210U005233
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-14


Роздрукувати цю сторінку