Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0210U006372, 0107U008524 , Науково-дослідна робота Назва роботи "Розробка мікроелектронного газового датчику сірководню на основі нанопористих шарів для навконтролю контролю навколишнього середовища" Назва етапу роботи Керівник роботи Литовченко Володимир Григорович, Дата реєстрації 02-08-2010 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Метою даного проекту є розробка технології виготовлення мікроелектронного датчика до сірководню на основі нанопористого кремнію. Дослідження впливу вологості атмосфери на стабільність параметрів датчику та на його селективність і чутливість до низьких концентрацій сірководню у повітрі. Розробка спеціальних технологічних операцій для зниження залежності газочутливих параметрів датчику від вологості повітря та газових сумішей. Створення макету портативного газоаналізатора H2S на базі МДН - сенсора для діапазону концентрацій 1-1000 ppm сірководню у повітрі. Методи дослідження: високочастотний метод вольт-фарадних характеристик (ВЧ ВФХ), метод вольт-амперних характеристик (I-V), метод інфра - червоної спектроскопії (ІЧС), метод растрової електронної мікроскопії (РЕМ), метод силової атомної мікроскопії (АСМ). Представлені результати експериментальних досліджень адсорбції та поглинання сірководню тонкими (300 - 500 A) плівками паладію, міді та композиту паладій-вольфрам, які були нанесені на шарувату структуру діелектрик - напівпровідник (ДН) на основі нанопористого кремнію. Розроблено і створено макет портативного газоаналізатора H2S на базі МДН - сенсора для діапазону концентрацій 1-1000 ppm сірководню у повітрі. Опис продукції Науково-технічний звіт за НДР: 15 с., 8 рис., 12 посилань. Досліджувалися електрофізичні характеристики та параметри газових сенсорів (ізотерми адсорбції, чутливість, селективність, часи відгуку та відновлення) на базі метал-діелектрик-напівпровідник (МДН) структур з нанопористими шарами кремнію та різними типами каталітично активних електродів (Pd, композитні Pd/Cu, композитні Pd/W); а також встановлено вплив різних полімерних плівок (фталоцианин/CdS, карбазолмісткого полімер) на чутливість МДН-сенсорів до вологи. Виготовлено прототип газового сенсора на сірководень. Автори роботи Горбанюк Т.І. Солнцев В.С. Чудовська Г.В. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити