Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0210U007779, 0108U008347 , Науково-дослідна робота Назва роботи Створення та дослідження мір довжини для нанометрового діапазону Назва етапу роботи Керівник роботи Купко Володимир Семенович, Дата реєстрації 09-12-2010 Організація виконавець Національний науковий центр "Інститут метрології" Опис етапу Розглянуто сучасний стан та проблеми створення мір довжини для нанометрового діапазону, особливості та можливості контролю (вимірювання) їх параметрів. Визначено загальні вимоги щодо необхідних мір довжини нанометрового діапазону та основні положення методики їх повірки. З урахуванням наявних можливостей вітчизняної технології, визначено вимоги щодо виготовлення експериментальних зразків мір, на основі яких розроблено технічне завдання на міру рельєфу нанометрового діапазону на основі монокристалічного кремнію, проведено супроводження виготовлення експериментальних зразків мір та розроблено проект технічних умов. Проведено дослідження основних метрологічних характеристик експериментальних зразків мір методами зондової мікроскопії та методами інтерферометрії. Опис продукції Автори роботи Ковшов Сергій Борисович Косенко Олег Олександрович Лукін Ігор Васильович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Створення та дослідження мір довжини для нанометрового діапазону
Керівник: Купко Володимир Семенович. Створення та дослідження мір довжини для нанометрового діапазону. (Етап: ). Національний науковий центр "Інститут метрології". № 0210U007779
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-15


Роздрукувати цю сторінку