Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0211U000702, 0108U000242 , Науково-дослідна робота Назва роботи Наноструктуровані фотолюмінесцентні плівки на основі SiC і SiCN. Механізми голубої фотоемісії. Назва етапу роботи Керівник роботи Іващенко Володимир Іванович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 25-02-2011 Організація виконавець Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М.Францевича НАН України Опис етапу Отримані PECVD методом аморфні і наноструктуровані SiC і SiCN плівки, осаджені із використанням метилтрихлорсилану (MTCS, methyltrichlorosilane, CH3SiCl3), гексаметилдісилазану (HMDSN, hexamethyldisilazane, Si2(CH3)6NH) Температури осадження 350 - 1200 oС. Досліджені фотолюмінісцентні і структурні властивості, морфологія поверхні, оптоелектронні властивості, картини зв'язків, склад. Результати дослідження. 1) Нанокристалічна структура SiC плівки, осадженої при 350 oС, обумовлює яскраву голубу фотоемісію Відпал при 650 oC спричиняє посилення фотолюмінісценції; 2) Збільшення потужності розряду призводить до підвищення шорсткості поверхні SiCN плівок, які демонструють яскраву фотолюмінісценцію. 3) Розрахунки методом сильного зв'язку в nc-SiC та nc-Si пояснили збільшення піків фотоемісії 430-440 нм при зниженні температури. 4) Дослідження електронної структури нанокластерів Si і 3С-SiC показано, що механізмом голубої фотолюмінесценції є рекомбінація на радіаційних центрах (RC), розташованих на поверхні нанокластера, а фотогенерація відбувається в остові Si або 3С-SiC нанокластера. Найбільш ймовірними центрами рекомбінації можуть бути комплекси Si=O-O. Після відпалу нанокластери збільшуються в розмірі, їх енергетична щілина зменшується і стає меншою, ніж енергетична різниця між HOMO і LUMO в рекомбінаційних центрах. В результаті діє інший механізм ФЛ, пов'язаний з рекомбінаціями в гідрогенізованих вуглецевих нанокластерах; 5) Аномальна координація атомів спричиняє появу додаткових станів вище і нижче рівня Фермі. Електронні переходи між станами, утвореними тетраедричними С2-Si-O2 комплексами та дефектними С2-Si, або С2-Si-O1 фрагментами, можуть бути однією із причин голубої фотоемісії нанокристалічних структур на основі Si-C-О. Опис продукції PECVD методом із використанням метилтрихлорсилану (MTCS, methyltrichlorosilane, CH3SiCl3), гексаметилдісилазану (HMDSN, hexamethyldisilazane, Si2(CH3)6NH) осаджені аморфні і наноструктуровані SiC і SiCN плівки.. Досліджені фотолюмінісцентні і структурні властивості, морфологія поверхні, оптоелектронні властивості, картина зв'язків, склад. Встановлений механізм яскравої фотолюмінісценції отриманих плівок. Автори роботи Іващенко Л.А Бутенко О.О. Бутенко Ф.Г. Грішнева Л.А. Гранько В.М. Осадча А.В. Порада О.К Ситіков О.О. Скринський П.Л. Тімофєєва І.І. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити