Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0211U001322, 0109U001866 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення технології отримання функціональних наноструктур на основі низькотемпературного синтезу кремнієвих кластерних структур та нітридів індію і галію Назва етапу роботи Керівник роботи Якименко Юрій Іванович, Дата реєстрації 31-01-2011 Організація виконавець Науково-дослідний інститут прикладної електроніки Національного технічного університету України "КПІ" Опис етапу Робота присвячена дослідженню структури, фізичних характеристик та технології функціональних матеріалів на основі низькотемпературного синтезу плівок сполук кремнія. Досліджено процеси синтезу плівок методом магнетронного ВЧ розпилення. Отримані тонких плівок кремнієвих сполук з високими технічними характеристиками, хорошою стабільністю і відсутністю деградації ефекта Стеблера-Вронскі. Одержані плівки нітридів характеризуються високою провідністю і оптичним поглинанням в області 400 нм. Гетеропереходи проявляють діодні характеристики при низьких значеннях напруги 0,01-0,2В в прямому включенні. Розроблено технологію керування структурними властивостями тонких плівок кремнію з нанокристалітними включеннями. Досліджені електрофізичні, оптичні, термоелектричні, фотоелектричні і радіаційні характеристики. Вивчена їх залежність від розмірів нанокристалітів і співвідношення аморфної і нанокристалічної фаз. Результати рекомендовано використовувати при розробці електронних пристроїв мікроелектромеханічних систем. Опис продукції Розроблено технологію керування структурними властивостями тонких плівок кремнію з нанокристалітними включеннями, досліджені залежності різних властивостей - електрофізичних, оптичних, термоелектричних, фотоелектричних і радіаційних - від розмірів нанокристалітів і співвідношення аморфної і нанокристалічної фаз. Досліджено процеси низькотемпературного синтезу наноструктурних плівок на основі кремнію із застосуванням методу магнетронного ВЧ-розпилення, який забезпечує одержання тонких плівок кремнієвих сполук з високими технічними характеристиками, хорошою стабільністю і відсутністю деградації за ефектом Стеблера-Вронскі. Одержані плівки нітридів характеризуються високою провідністю, оптичним поглинанням в області 400 нм, гетеропереходи проявляють діодні характеристики при низьких значеннях напруги 0,01-0,2В в прямому включенні.Метод дозволяє широкомасштабне промислове виробництво мікроелектронних пристроїв на основі нанокристалічних кремнієвих сполук. Проведено аналіз основних технологічних методів поліп Автори роботи Іващук Анатолій Васильович Богдан Олександр Володимирович Богдан Тетяна Зіновіївна Душейко Михайло Григорович Зеленський Сергій Васильович Кавраська Наталя Михайлівна Коваль Вікторія Михайлівна Красонтович Михайло Юрійович Лупина Борис Іванович Орлов Анатолій Тимофійович Петрищев Олег Миколайович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити