Реєстраційний номер
0211U001323,
0109U001867
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка та створення високочастотного твердотільного дефлектора на основі технології МЕМС для систем лазерної хірургії і терапії.
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Жуйков Валерій Якович,
Дата реєстрації
31-01-2011
Організація виконавець
Науково-дослідний інститут прикладної електроніки Національного технічного університету України "КПІ"
Опис етапу
Розробка направлена на дослідження технології та характеристик актюаторів на основі твердотільних електромеханічних систем. Розроблена математична модель твердотільного електромеханічного елемента із збудженням коливань в шарі п'єзоелектричного матеріалу. Розроблений технологічний маршрут виготовлення тонкоплівкового нітриду алюмінія на основі метода реактивного розпилення на постійному струмі. Проведені дослiдження способів включення резонансних елементів твердотільного дефлектора. Відпрацьовано керування механічними характеристиками резонансних елементiв. Запропоновані та проаналізовані конструкції композитних п'єзоелектричних резонаторів. Отримані значні переміщення з високою швидкістю. Конструкції п'єзоелектричних високочастотних плівкових елементів твердотільного дефлектора мають менші розміри, ширший діапазон робочих частот та нижчу вартість. Результати рекомендовано використовувати при розробці твердотільних резонаторів і актюаторів мікроелектромеханічних систем.
Опис продукції
Розробка направлена на дослідження технології та характеристик актюаторів на основі твердотільних електромеханічних систем. Розроблена математична модель твердотільного електромеханічного елемента із збудженням коливань в шарі п'єзоелектричного матеріалу. Розроблений технологічний маршрут виготовлення тонкоплівкового нітриду алюмінія на основі метода реактивного розпилення на постійному струмі. Проведені дослiдження способів включення резонансних елементів твердотільного дефлектора. Відпрацьовано керування механічними характеристиками резонансних елементiв. Запропоновані та проаналізовані конструкції композитних п'єзоелектричних резонаторів. Отримані значні переміщення з високою швидкістю. Конструкції п'єзоелектричних високочастотних плівкових елементів твердотільного дефлектора мають менші розміри, ширший діапазон робочих частот та нижчу вартість. Результати рекомендовано використовувати при розробці твердотільних резонаторів і актюаторів мікроелектромеханічних систем.
Автори роботи
Іващук Анатолій Васильович
Богдан Олександр Володимирович
Богдан Тетяна Зіновіївна
Зеленська Марина Олександрівна
Зеленський Сергій Васильович
Коваль Вікторія Михайлівна
Петергеря Юлія Сергіївна
Петрищев Олег Миколайович
Пономарьова Тетяна Миколаївна
Радченко Олексій Леонідович
Селіванов Сергій Олександрович
Терещенко Тетяна Олександрівна
Чугаєв Андрій Петрович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
