Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0211U001350, 0110U005894 , Науково-дослідна робота Назва роботи Оптичні і рентгенівські дослідження фазового складу покриттів з алмазоподібної і нанокомпозитної структури Назва етапу роботи Керівник роботи Стрельчук Віктор Васильович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 31-01-2011 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Методами високороздільної рентгенівської дифракції та комбінаційного розсіювання світла проведено дослідження титано-вмістких (n-TiC/a-C) нанокомпозитних тонкоплівкових покриттів отриманих магнетронним розпиленням та алмазоподібних вуглецевих DLC-покриттів, нанесених гібридним лазерно-плазмовим методом. Із субмікронним розділенням отримано спектри КРС і оцінено фазовий вміст sp2/sp3 вуглецю в структурах. Визначено склад, характерні розміри мікрокристалічних блоків та оцінено пружні деформації в досліджуваних покриттях. Встановлено, що вуглець в досліджуваних ТіС плівках знаходиться в сильно розупорядкованому стані переважно з sp2 структурною конфігурацією атомів. Спостережуваний слабкий сигнал КРС, що відповідає TiC коливанням свідчить про невеликі порушення структурної стехіометрії плівки TiC в досліджуваних зразках. З аналізу форми спектрів КРС досліджуваних СNx та TiCNx плівок виявлено формування в досліджуваних зразках сильно розупорядкованих графітоподібних кластерів. Оцінка величини характерного розміру кластеру дає величину ~25 нм для СNx плівок та ~ 15 нм для плівок TiCNx. Спостережувана Раманівськая смуга в області 2220 см-1 свідчить про формуванням в досліджуваних структурах потрійних C?N хімічних зв'язків з sp1 гібридизацією. Результати КРС досліджень алмазоподібних вуглецевих плівок свідчать про формування на поверхні досліджуваних покриттів шару оксиду заліза ?-Fe2O3 та про відсутність в досліджуваних структурах аморфних чи кристалічних вуглецевих кластерів. З аналізу рентгенограм досліджуваних ТіС плівок встановлено присутність в плівках кубічної фази карбіду титану, з середнім параметром гратки ~ 0.43 нм. З проведеного кількісного аналізу кубічної фази TiC показано, що розміри ОКР і мікроспотворень гратки мають ізотропний характер, а середні деформації кристалічної гратки лінійно збільшується зі збільшенням розміру зерен. Результати рентгеноструктурного аналізу досліджуваних вуглецевих CNx плівок проведеного в ковзній геометрії дифракції свідчать про те, що шари CNx для досліджуваних структур знаходяться в аморфному стані. Опис продукції Автори роботи Авраменко Катерина Андріївна Брикса Вадим Петрович Кладько Василь Петрович Коломис Олександр Федорович Кучук Адріан Володимирович Ніколенко Андрій Сергійович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити