Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0211U002199, 0109U007238 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення технології та виготовлення експериментальних зразків фотодіодів інфрачервоного діапазону спектра 3-5,5 мкм на основі сполук Mn(Cd)HgTe Назва етапу роботи Керівник роботи Іжнін Ігор Іванович, Дата реєстрації 25-01-2011 Організація виконавець Науково-виробниче підприємство "Карат" Опис етапу Звіт про НДР: 283 с., 118 рис., 17 табл., 269 посилань. Об'єкт досліджень - фотодіоди інфрачервоного діапазону спектра. Предмет досліджень - фотодіоди інфрачервоного діапазону спектра 3-5,5 мкм на основі сполук Mn(Cd)HgTe та технологія їхнього виготовлення. Мета роботи - розроблення конструкції, відпрацювання базових технологій та виготовлення експериментальних зразків фотодіодів середнього інфрачервоного діапазону спектра 3-5 мкм на базі вузькощілинних напівпровідників Mn(Cd)xHg1-xTe для оптоелектронних систем. Відпрацьована технологія росту монокристалів вакансійно-легованого р-MnxHg1-xTe з необхідними складом (х=0,13) і рівнем концентрації вакансій та відпрацьовані технології механічної та хімічної обробки пластин MnxHg1-xTe. Проведені комплексні дослідження впливу іонного травлення на властивості вакансійно-легованих монокристалічних пластин р-MnxHg1-xTe і епітаксійних структур р-CdxHg1 xTe, отриманих методами рідинно-фазної та молекулярно-променевої епітаксії, та відпрацьовані технологічні режими формування р-n переходів методом іонного з необхідною глибиною залягання. Розроблена конструкція фотодіодів та відпрацьовані технологічні операції виготовлення меза та планарних фотодіодів - нанесення захисного діелектрика, низькотемпературної фотолітографії, формування вікон в захисному діелектрику, нанесення контактної металізації. Відпрацьовані методики дослідження основних параметрів фотодіодів (добутку R0A, ділянки спектральної чутливості, здатності до виявлення), виготовлена експериментальна партія фотодіодів, досліджені їхні параметри. Ключові слова: CdxHg1 xTe, MnxHg1 xTe, фотодіоди, інфрачервоний діапазон, іонне травлення, технологія, параметри. Опис продукції В поцесі виконання роботи відпрацьована технологія росту монокристалів вакансійно-легованого р-МnхНg1-хТе та механічної та хімічної обробки пластин р-МnхНg1-хТе. Проведені комплексні дослідження впливу іонного травлення на властивості монокристалічних пластин р-МnхНg1-хТе і епітаксійних структур р-СdxHg1 хТе, відпрацьовані технологічні режими формування p-n переходів методів іонного з необхідною глибиною залягання. Розроблено конструкцію фотодіодів та відпрацовані технологічні операції виготовлення меза та планарних фотодіодів. Відпрацьовані методи дослідження основних параметрів фотодіодів, виготовлена експерементальна партія фотодіодів, досліджені їхні параметри. Автори роботи Іжнін Ігор Іванович Іжнін Олександр Іванович Генега Наталія Ярославівна Мудрий Ростислав Ярославович Фіцич Олена Іванівна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити