Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0211U004962, 0110U006408 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження процесу отримання кремнію високої чистоти плазмохімічним відновленням очищених силанів у низькотемпературній плазмі атомарного водню. Назва етапу роботи Керівник роботи Широков Борис Михайлович, Доктор технічних наук Дата реєстрації 28-03-2011 Організація виконавець Харківський фізико-технічний інститут Опис етапу На основі трансформаторної моделі низькотемпературної неравноважної водневої плазми були розраховані чиельні значення провідності для заданих значень тиску, газової температури й концентрацїї електронів у розряді. Числене значення провідності плазми дозволило визначити її опір для обраних геометричних розмірів розрядної камери й частоти збуджуючого магнітного поля. Отримані необхідні для розробки плазмохімічних реакторів, залежності від вкладеної в плазму потужності, тиску й складу газової суміші, що характеризують зону енерговкладу в індукційному розряді. ВЧ-розряди з низьким енерговкладом характеризуються лінійною залежністю газової температури від вкладеної в розряд потужності, що істотно розширює область застосування даних розрядів у плазмохімічному єксперименті. Опис продукції На основі трансформаторної моделі низькотемпературної неравноважної водневої плазми були розраховані чисельні значення провідності для заданих значень тиску, газової температури й концентрації електронів в розряді. Числене значення провідності плазми дозволило визначити її опір для обраних геометричних розмірів розрядної камери й чистоти збуджуючого магнітного поля. Отримані необхідні для розробки плазмохімічних реакторів залежності від вкладеної в плазму потужності, тиску й складу газової суміші, що характеризують зону енерговкладу в індукційному розряді. ВЧ-розряди з низьким енерговкладом характеризуються лінійною залежністю газової температури від вкладеної в розряд потужності, що істотнорозширює область застосування даних розрядів у плазмохімічному експерименті. Автори роботи Дериземля Анатолій Миколайович Кришталь Петро Григорович Радченко Володимир Іванович Семенов Микола Олександрович Швець Олег Михайлович Широков Борис Михайлович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити