Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0211U005247, 0110U005752 , Науково-дослідна робота Назва роботи Модернізовані плазмодинамічні системи прецизійного синтезу нанорозмірних плівок металів та їх бінарних сполук. Назва етапу роботи Керівник роботи Гончаров Олексій Антонович, Дата реєстрації 12-03-2011 Організація виконавець Інститут фізики НАН України Опис етапу Адаптовано три експериментальні лабораторні стенди до потреб виконання завдань проекту. Розроблено дизайн нової системи напуску газу. Виконано тестові напилення наношарів двоокису титану. З тестових напилень отримано калібровочну залежність товщини плівки від часу напилення для двох модифікацій джерел магнетронного типу. Встановлено пряму пропорційність товщини шару від часу напилення в потрібних межах товщин шару з різною швидкістю росту плівки; 5нм/хв. для циліндричного магнетрону і 0,67нм/хв. - для планарного розпилювача з анодним шаром. Встановлено наявність залежності між товщиною наношару та показником заломлення для плівок двоокису титану. Отримані результати дозволяють продовжити виконання проекту та напрацювати в подальшому науково-технологічну базу розробки високоефективних іонно-плазмових пристроїв нового покоління задля синтезу нанорозмірних плівок металів та їх хімічних сполук, зокрема, й керування їх наноструктурою та порожнистістю. Опис продукції Адаптовані лабораторні стенди. Наноплівки двоокису титану. Встановлено існування залежності показника заломлення від товщини плівки в межах 10-100 нм. Автори роботи Євсюков Антон Миколайович Гончаров Олексій Антонович Добровольський Андрій Миколайович Костін Євген Георгійович Проценко Іван Макарович Стеценко Борис Володимирович Фролова Олена Констянтинівна Щуренко Анатолія Іванівна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити