Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0211U005334, 0110U004738 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення та розвиток сертифікованих методик мас-спектроскопічної діагностики наноматеріалів, наноструктур та аморфних сплавів Назва етапу роботи Керівник роботи Романюк Борис Миколайович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 22-04-2011 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу В роботі виготовлено методом іонної імплантації набір тестових зразків з різними домішками для прецизійної калібровки мас-спектрометра. Проведено дослідження виготовлених тестових зразків з використанням комплексу методів. Отримані результати дозволяють проводити калібровку мас-спектрометра для широкого кола актуальних елементів (Cu, Ni, Fe, Mn, Cr, Ti, Ca, K, Al, Na, Li, C, та ін.) в діапазоні концентрації домішок 1014 - 1019 см-3. Опис продукції Виготовлено тестві зразки, що містять різні домішки, з точним значення їх концентрації. Використання таких зразків дозволяє провести калібровку мас-спектрометра і проводити кількісні вимірювання вмісту різних домішок в шаруватих нанорозмірних об'єктах Автори роботи Мельник В.П. Оберемок О.С. Попов В.Г. Хацевич І.М. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити