Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0211U006020, 0108U001476 , Науково-дослідна робота Назва роботи Отримання плівок політипів карбіду кремнію методом прямого осадження іонів низьких енергій Назва етапу роботи Керівник роботи Семенов Олександр Володимирович, Дата реєстрації 15-02-2011 Організація виконавець Інститут монокристалів НАН України Опис етапу Оптимізована конструкція, проведено тестування і вимірені характеристики плазмового джерела іонів з планарним катодом із карбіду кремнію і неоднорідним магнитним полем на його поверхні. Вивчені теплофізичі умови на підкладках з градієнтним нагрівом у процесі росту плівкиSiC. Вирощена гетерополитипна структура 3C/2IR -SiC Опис продукції Оптимізована конструкція, проведено тестування и вимірені характеристики плазмового джерела іонів з планарним катодом із карбіду кремнію і неоднорідним магнітним полем на його поверхні. Вивчені теплофізичні умови на підкладках з градієнтним нагрівом в процесі росту плівки SiC. Виращена гетеротипна структура 3C/2IR-SiC Автори роботи Лопін Олександр Володимирович Пузіков Вячеслав Михайлович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Отримання плівок політипів карбіду кремнію методом прямого осадження іонів низьких енергій
Керівник: Семенов Олександр Володимирович. Отримання плівок політипів карбіду кремнію методом прямого осадження іонів низьких енергій. (Етап: ). Інститут монокристалів НАН України. № 0211U006020
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-21


Роздрукувати цю сторінку