Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0211U006142, 0109U001453 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка багатокомпонентних багатофункціональних покриттів та методів їх нанесення на поверхні з прецизійною обробкою Назва етапу роботи Керівник роботи Целуйко Олександр Федорович, Дата реєстрації 23-02-2011 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу Об'єкт дослідження - багатокомпонентні багатофункціональні покриття та методи їх прецизійного нанесення на поверхні. Мета роботи - розробка багатокомпонентних багатофункціональних покриттів та методів їх прецизійного нанесення на поверхні. Методи дослідження - експериментальний аналіз впливу характеристик магнетронних, дугових, іонно-променевих, поверхнево-хвильових технологічних систем на параметри покриттів. Моделювання фізичних процесів формування покриттів на ЕОМ. Описані двохрежимна імпульсна магнетронно-дугова система з підвищеною швидкістю нанесення, збільшеним використанням мішені і поліпшеними механічними й адгезійними характеристиками покриттів; магнетронна система підвищеної питомої потужності з секційним анодом і додатковим прианодним поперечним магнітним полем для запобігання зриву в дуговий режим; іонно-променева розпилювальна система з керованим кутом падіння іонів на мішень і автокомпенсацією об'ємного заряду пучка. На основі комп'ютерного моделювання розподілу температури в плівці, що формується в умовах імпульсного осадження при питомій потужності , запропоновано методику розрахунку технологічних режимів осадження покриттів на малорозмірні об'ємні вироби. Вона дозволяє одержувати якісні плівки з товщинами до 5 мкм зі швидкістю осадження. Відпрацьовано технології плазмово-стимульованого осадження алмазоподібних покриттів товщиною 70 400 нм з мікротвердістю 16 17 ГПа при швидкості осадження 240 400 нм/год; плівок SiО2 на бокову поверхню малогабаритних напівпровідникових рентгенівських детекторів (для збільшення опору детектора з 1010 до 6 1011 Ом і підвищення стабільності у часі) і малогабаритних контейнерів локальної радіотерапії злоякісних пухлин людини для зменшення радіоактивної забрудненості до 630 Бк. Досліджені фактори, що впливають на ерозію вольфрамових і вуглецевих диверторних пластин термоядерного реактора при потоках часток 1014 1015 см-2с-1. Поряд з фізичним розпиленням виявлені хімічне розпилення вуглецю і емісія атомів вуглецю й дейтерію з поверхні. Еволюція морфології поверхні досліджена при комп'ютерному моделюванні з використанням одномірного і двомірного кодів SDTrimSP й SDTrimSP-2D. Отримана гарна згода між експериментальними даними й результатами моделювання, ідентифіковано ряд локальних мікро- процесів, які в цей час неможливо виявити за допомогою експериментальної діагностики. Устаткування і технології нанесення покриттів можуть служити базою для розробки відповідних технологій нанесення покриттів у виробництві високоточних вузлів, механізмів, які у значній мірі визначають загальний рівень та конкурентоспроможність продукції у таких галузях як машинобудування, приладобудування та інших. Опис продукції Запропоновано магнетронну систему підвищеної питомої потужності, в якій для збільшення граничного струму магнетронного розряду підвищено опір розрядного проміжку за допомогою додаткового прианодного поперечного магнітного поля з максимальною напруженістю поблизу анода. Для періодичного переривання розрядного струму, при утворенні катодних плям, і запобігання "шнурування" струму розряду, використано ефект руху катодних плям у поперечному магнітному полі уздовж аноду, в якому чергуються ділянки звичайної і гальванично ізольованої поверхні. Автори роботи Бізюков І. Бізюков О. Рябчиков Д. Середа І. Целуйко О. Чунадра А. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити