Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0211U007035, 0109U000294 , Науково-дослідна робота Назва роботи Теоретичні та експериментальні дослідження методів іонно-плазмового формування наноструктур для електроніки Назва етапу роботи Керівник роботи Толок Володимир Тарасович, Дата реєстрації 18-03-2011 Організація виконавець Науковий фізико-технологічний центр Міністерства освіти і науки та НАН України Опис етапу Отримано наноструктури із вуглецевої плазми. Створено комплексну систему діагностики та керування процесом іонно-променевого осадження з метою оптимізації параметрів технології одержання нанорозмірних нітридних і оксинітридних плівок та наногетероструктур. Визначено вплив параметрів іонно-променевого синтезу на хімічний стан і дифузійні властивості нітридних і оксинітридних плівок нанорозмірної товщини та меж розділення наногетероструктур. Опис продукції Розробка ефективних методів синтезу наноструктурних елементів для потреб електроніки Автори роботи Бєляєва Тамара Миколаївна Дудіна Наталія Григорівна Кропотов Олександр Юрійович Мірошниченко Григорій Олександрович Сребнюк Павло Анатолійович Удовицький Віктор Григорович Шухов Віктор Володимирович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Теоретичні та експериментальні дослідження методів іонно-плазмового формування наноструктур для електроніки
Керівник: Толок Володимир Тарасович. Теоретичні та експериментальні дослідження методів іонно-плазмового формування наноструктур для електроніки. (Етап: ). Науковий фізико-технологічний центр Міністерства освіти і науки та НАН України. № 0211U007035
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-17


Роздрукувати цю сторінку