Керівник: Невлюдов Ігор Шакирович. Теоретичні основи мікроелектромеханічних систем, проектування та технології їх виробництва для гнучких інтегрованих систем.. (Етап: ).
Харківський національний університет радіоелектроніки. № 0211U008072
Оновлено: 2026-10-27