Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0211U008140, 0109U006860 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка експериментальних методів дослідження резистивності тонких шарів напівпровідникових плівок Назва етапу роботи Керівник роботи Родіонов Валерій Євгенович, Дата реєстрації 05-04-2011 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Найважливішою характеристикою плівок і усієї структури НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ПЛІВОК (НПП) в цілому є електрична міцність, яка визначається величиною пробійної напруженості поля між електродами. При збільшенні напруги, що прикладається до НПП, підвищується температура в його діелектричних і, особливо, в напівпровідникових шарах, що обумовлено зростанням втрат в структурі і виділенням тепла джоуля в прозорому електроді. Це у свою чергу сприяє збільшенню вірогідності пробою діелектрика, при якому відбувається подальше локальне розігрівання плівки до її остаточного термічного руйнування. Тому пробійна напруженість поля залежить від багатьох параметрів: матеріалу плівки, її структури, товщини, щільності, якості підкладки, на яку нанесена плівка, від структури і пристрою тонкоплівкового електропровідного електроду (ТСЕ), який визначає умови тепловідводу і режим збудження структури (тривалість різнополярних імпульсів, частоту їх дотримання). Тому контроль дефектності плівки і структури набуває великого значення як для визначення досконалості шарів і корекції технологічного процесу їх осадження, так і з метою видачі початкових даних для наступних операцій електротренування і випалювання містків, що проводять, між сусідніми електродами. Опис продукції Експериментальні методи дослідження резистивності тонких шарів напівпровідникових плівок Автори роботи Родіонов Валерій Євгенович Шмидко Ігор Миколайович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити