Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0211U009090, 0106U003218 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження взаємозв’язку між параметрами жевріючого газового розряду та характеристиками тонких плівок металів та металідних сполук при осадженні їх іонно-плазмовими методами. Назва етапу роботи Керівник роботи Терпій Дмитро Миколайович, Дата реєстрації 21-06-2011 Організація виконавець Донбаська державна машинобудівна академія Опис етапу Об'єкт дослідження: процеси, що мають місце під час формування тонких плівок та покриттів; плівки та покриття діборидів перехідних металів (Ta, Hf, V, Zr). Мета дослідження: Встановити взаємозв’язок між енергетичними характеристиками та щільністю струменів часток (атомів, кластерів, іонів) та механізмами зростання плівок металічних сполук. На підставі цього розробити механізми та алгоритми, які дозволили би заздалегідь прогнозувати склад, структуру та властивості плівок. Методи дослідження: оптична мікроскопія, вимірювання нано- та мікротвердості, електронна мікроскопія, елементний аналіз і рентгеноструктурний аналіз, комп'ютерне моделювання за методом Монте-Карло.У роботі наведено результати досліджень плівок діборидів перехідних металів (танталу, гафнію, ванадію та цирконію). Вивчено процеси осадження, формування та зростання таких плівок і покриттів. Встановлено загальні закономірності взаємозв'язку між структурним станом плівки та її основними характеристиками, в першу чергу механічними та фізичними, також проведено аналіз хімічних властивостей подібних покриттів. За результатами проведених експериментів запропоновано основні положення механізму утворення та зростання плівок. За допомогою моделювання методом Монте-Карло та аналітично. Проведено дослідження можливості застосування мікротвердомера (ПМТ-3) для визначення твердості тонких шарів. Шляхом порівняльного аналізу даних нанотвердості і чисельних методів екстраполяції розроблена методика, що дозволяє з достатнім ступенем точності обчислювати твердість плівок і покриттів починаючи з товщини від 0,4 мкм. Опис продукції Встановлено взаємозв’язок між енергетичними характеристиками та щільністю струменів часток (атомів, кластерів, іонів) та механізмами зростання плівок металічних сполук. На підставі цього розроблено механізми та алгоритми, які дозволять заздалегідь прогнозувати склад, структуру та властивості плівок. Автори роботи Дьяченко Юрій Григорович Коновалов Владілен Анатолійович Лаптєв Олександр Михайлович Мінков Олександр Миколайович Петухов Вадим Вікторович Плеханова Лідія Валентинівна Рульов Віктор Іванович Терпій Дмитро Миколайович Ткачов Олексій Іванович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити