Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0212U000355, 0109U000294 , Науково-дослідна робота Назва роботи Теоретичні та експериментальні дослідження методів іонно-плазмового формування наноструктур для електроніки Назва етапу роботи Керівник роботи Толок Володимир Тарасович, Дата реєстрації 02-02-2012 Організація виконавець Науковий фізико-технологічний центр Міністерства освіти і науки та НАН України Опис етапу Проведено експериментальне визначення щільності струму та однорідності потоків заряджених частинок з плазми ВЧ індукційного розряду за умов застосування інертних та хімічно активних робочих газів у широкому діапазоні тиску. Отримані експериментальні зразки наноструктур та визначені їх якісні характеристики. Опис продукції Розробка ефективних методів синтезу наноструктурних елементів для потреб електроніки Автори роботи Бєляєва Тамара Миколаївна Дудіна Наталія Григорівна Кропотов Олександр Юрійович Мірошниченко Григорій Олександрович Сребнюк Павло Анатолійович Удовицький Віктор Григорович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити