Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0212U000619, 0110U004738 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення та розвиток сертифікованих методик мас-спектроскопічної діагностики наноматеріалів, наноструктур та аморфних сплавів Назва етапу роботи Керівник роботи Романюк Борис Миколайович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 02-03-2012 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу В роботі розроблено методики мас-спектрометричних вимірювань розподілу домішок по глибині шаруватих структур з шарами GaN, GaAs, GaAlAs, SiGe, а також тонкими Ni/Al шарами (в залежності від типу мішені, товщини досліджуваних шарів та ін.), які забезпечують нанометрову роздільну здатність по глибині. Також проведено дослідження профілів розподілу домішок імплантованих в кремнійові пластини. Розроблено методику калібровки мас спектрометричних вимірювань для забезпечення кількісного домішкового аналізу твердих тіл. Опис продукції Розроблено методики мас-спектрометричних вимірювань розподілу домішок по глибині шаруватих структур з шарами GaN, GaAs, GaAlAs, SiGe, а також тонкими Ni/Al шарами , які забезпечують нанометрову роздільну здатність по глибині. Проведено дослідження профілів розподілу домішок імплантованих в кремнійові пластини. Розроблено методику калібровки мас спектрометричних вимірювань для забезпечення кількісного домішкового аналізу твердих тіл. Автори роботи Мельник В.П. Мусаєв С.М. Оберемок О.С. Попов В.Г. Романюк Б.М. Хацевич І.М. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити