Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0212U001389, 0110U006271 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка та впровадження технології формування ненапруженого однорідного кремнієвого зливка. Назва етапу роботи Керівник роботи Литовченко Володимир Григорович, Дата реєстрації 02-02-2012 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Звіт про НДР: 13 с., 3 рисунка, 2 таблиці, 8 джерел. Об'єкти дослідження - кремнійові структури, імплантовані іонами домішок та піддані гетеруючим і термічним процедурам. Мета роботи - Розробка та постановка методів для характеризації кремнієвого матеріалу. Методи досліджень - Спектроскопія комбінаційного розсіювання світла, рентгенівська дифракція, мас-спектрометрія, спектроскопія поверхневої фото-е. р. с. В роботі розвинуто метод дифузного розсіювання рентгенівських променів в монокристалах кремнію, який дозволяє вимірювати концентрацію дефектів міжвузлового та вакансійного типу. Було використано методи введення дефектів різного типу (точкові та протяжні) в пластини кремнію, які дозволили підтвердити ефективність запропонованої методики тестування дефектності пластин. Проведено дослідження рекомбінаційної активності імплантованих домішок титану та заліза в кремнії і показано, що методи гетерування цих домішок є ефективними для пластин, в яких відсутні кисневі преципітати. Показано, що використання лазерів з різною довжиною хвилі при вимірюванні спектрів комбінаційного розсіювання світла дозволяє визначати величину та знак механічних напружень на різних глибинах в кремнійових пластинах. Використання методу стимульованого формування точкових дефектів високоінтенсивним опроміненням (RTA) дозволяє керованим способом впливати на формування як ненапруженої фази SiO2 в об'ємі кремнію, та і напруженої (гетерної) фази. Опис продукції Розроблені та поставлені методи для характеризації кремнієвого матеріалу, а саме: спектроскопія комбінаційного розсіювання світла, рентгенівська дифракція, спектроскопія поверхневої фото-е.р.с. Автори роботи Євтух Анатолій Антонович Кладько Василь Петрович Лісовський Ігор Петрович Литовченко Володимир Григорович Романюк Борис Миколайович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити