Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0212U001527, 0110U006408 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження процесу отримання кремнію високої чистоти плазмохімічним відновленням очищених силанів у низькотемпературній плазмі атомарного водню. Назва етапу роботи Керівник роботи Широков Борис Михайлович, Доктор технічних наук Дата реєстрації 09-02-2012 Організація виконавець Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" НАН України Опис етапу За допомогою спроектованих і виготовлених датчікив струму і напруги на индукторі ВЧ генератора вимірян енергетичний баланс індуктор-плазма -системи Фулфера молекулярного водню в плазмі ВЧ- розряду. Опис продукції Спроектовані і виготовлені датчік струму та напруги на індукторі ВЧ генератора. Вимірян енегетичний баланс індуктор-плазма, для обчислення ступеня дисоціації молекулярного водня створена база даних по ідентифікації ліний - системи Фулфера молекулярного водня. Автори роботи Дериземля Анатолій Миколайович Кришталь Петро Григорович Радченко Володимир Іванович Семенов Микола Олександрович Швець Олег Михайлович Широков Борис Михайлович Щербакова Валентина Володимирівна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Дослідження процесу отримання кремнію високої чистоти плазмохімічним відновленням очищених силанів у низькотемпературній плазмі атомарного водню.
Керівник: Широков Борис Михайлович. Дослідження процесу отримання кремнію високої чистоти плазмохімічним відновленням очищених силанів у низькотемпературній плазмі атомарного водню.. (Етап: ). Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" НАН України. № 0212U001527
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-20


Роздрукувати цю сторінку