Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0212U001977, 0112U005381 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка нових технологічних прийомів формування і контролю мікро- і наноструктур на основі використання високолокальних електромагнітних полів, що створюються методами скануючої мікрохвильової мікроскопії Назва етапу роботи Керівник роботи Сліпченко Микола Іванович, Дата реєстрації 16-11-2012 Організація виконавець Харківський національний університет радіоелектроніки Опис етапу Проведено аналіз стану та перспектив розвитку скануючої зондової модифікації об'єктів технології наноелектроніки. Обґрунтовано фізико-теоретичні аспекти вивчення високолокальної теплової дії НВЧ зондів. Проведено числові дослідження процесів встановлення температури в системі НВЧ зонд-напівпровідниковий об'єкт з використанням існуючих методів рішення електродинамічних та теплофізичних задач. Розроблено алгоритми дослідження просторово-часового розподілу температури при умовах подібних до технологічного процесу перелегування напівпровідників. Опис продукції Науково-технічний звіт за 1 етап Автори роботи Бондаренко І.М. Гордієнко Ю.О. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Розробка нових технологічних прийомів формування і контролю мікро- і наноструктур на основі використання високолокальних електромагнітних полів, що створюються методами скануючої мікрохвильової мікроскопії
Керівник: Сліпченко Микола Іванович. Розробка нових технологічних прийомів формування і контролю мікро- і наноструктур на основі використання високолокальних електромагнітних полів, що створюються методами скануючої мікрохвильової мікроскопії. (Етап: ). Харківський національний університет радіоелектроніки. № 0212U001977
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-17


Роздрукувати цю сторінку