Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0212U002202, 0109U000079 , Науково-дослідна робота Назва роботи Вплив ультразвуку на конвективні течії в розплаві в умовах вирощування монокристалів Si зі зниженою шаруватістю легуючих компонентів Назва етапу роботи Керівник роботи Кожемякін Геннадій Миколайович, Дата реєстрації 30-01-2012 Організація виконавець Східноукраїнський національний університет імені Володимира Даля Опис етапу Обєктом дослідження є процес вирощування монокристалів кремнію методом Чохральского зі зниженною шаруватістю легуючих компонентів. Мета роботи була в розробці математичної і фізичної моделі впливу ультразвуку на стабілізацію конвекції в розплаві кремнію, розрахунку параметрів ультразвуку, конвективних течій, коефіцієнтів поглинання ультразвуку у високотемпературних матеріалах, котрі можуть використовуватися в якості хвилеводів, розробці умов вирощування монокристалів кремнію при впливі ультразвуку на розплав. Наукова новизна вилучених результатів є в тому, що розроблена модель впливу ультразвуку на зниження конвекції в розплаві під вирощуваним кристалом завдяки формуванню стоячих хвиль. Вивчено поглинання у хвилеводах при температурах, близьких до температури розплаву кремнію. Визначені умови вирощування монокристалів кремнію діаметром до 150 мм зі зніженою шаруватістю легуючих компонентів. Опис продукції Розроблено модель впливу ультразвуку на зменшення конвекції в розплавах. Модель описує вплив ультразвуку на частку розплаву при одночасної дії конвекції. Взаємозв'язок дії конвекції і ультразвукових стоячих хвиль в розплаві дозволили розрахувати і отримати задані умови вирощування монокристалів Si при відсутності шаруватості легуючих компонентів. Для введення ультразвуку мегагерцового діапазону частот в розплав при температурі 1500 ?С в умовах вирощування монокристалів Si від п'єзоперетворювача було досліджено коефіцієнти поглинання ультразвуку високотемпературних матеріалів для виготовлення хвилеводів. Встановлено, що найкращим матеріалом для хвилеводів є молібден. Розроблено і виготовлено устаткування для моделювання конвективних течій в прозорих рідинах при впливі ультразвуку. Прове Автори роботи Дегтярьова Анна Олександрівна Луцький Денис Валерьович Немець Людмила Вікторівна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити